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真空镀膜设备坩埚使用时的注意事项


坩埚又称为结晶器,是真空电弧熔炼的核心部位。金属在这里熔化、过热、精炼和结晶成锭。在这里进行着大量的热交换,坩埚壁的换热强度能够达到几万至几百万W/m2。当电弧产生异常现象时,甚至会烧穿坩埚壁。因此,对于坩埚有一系列要求。鉴于坩埚的重要性,设计坩埚的要点主要集中在以下点,我们一起来看看吧!


1坩埚要用导热性好导电性也好的且不易被熔化金属黏结的材料制造。


符合这种要求的材料有紫铜、无氧铜等。绝大多数的坩埚由壁厚12~24mm紫铜管和铜合金,(含锰青铜):法兰盘焊接而成。


YINWEIZITONGDEDAOREXINGHEDAODIANXINGHAO,QIEBUYURONGLIANJINSHUNIANJIE,HAIBIWUYANGTONGBIANYI,BIGANGCHUANREXING、DAODIANXINGHAO。





2坩埚的内表面应该平整光滑,断面形状一致,无严重麻坑,以便于脱锭。


GANGUOGUANZHUYAOZHIZAOFANGFAYOUJIYA、DIANJIECHENJIHELIXINZHUZAODENG。QIZHONGYIJIYAFANGFASHENGCHANDEZHILIANGZUIHAO,DANYICIFASHENGCHANDAGUIGE(ZHIJINGDAYU500mm)GANGUOGUANJIAOKUNNAN。


DIANJIECHENJIFAGUIGEBUXIAN,YINGYONGJIAOGUANG。CIWAI,HAIYOUZITONGBANJUANHANDEGANGUOGUAN,DANQINEIBIAOMIANDEHANFENGBIXUJIESHOUJINGMIJIAGONG。ZAIDIANHURONGLIANGUOCHENGZHONG,GANGUONEIBIAOMIANHUIJIEYOUCANZHA,YINCIMEICIRONGLIANQIANYINGGAIZIXIDIQINGLIGANGUONEIBIAOMIAN。


3坩埚要有足够的刚度和强度


在熔炼情况下,足以支承最大铸锭质量,且受到电极短路碰撞时不致损害。


4坩埚壁厚在强度允许的条件下应薄些


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ERLINGWAIYIXIERENRENWEI,ZHIYAOLENGQUESHUIZUGOU,GUOBIZONGXIANGCHUANREZUOYONGBUDA,YINCIKECAIYONGJIAOBODEGUOBI。ERQIE,GUOBIDEBOHOUBINGBUSHIJUEDINGSHAOCHUANGANGUONANYIDEYINSU。ZAILENGQUESHUIBUZUDEQINGKUANGXIA,WULUNGUOBIHOUBO,RONGDIANJIAODIDETONGKENDINGNANYUYINGFUGAOWEN。


5坩埚的结构应当允许坩埚的热膨胀变形


GANGUOWAIBIWENDUQUXIANSHI8YINGCUN(200mm)TONGGANGUOWAIBIAOMIANSHICEDEWENDUQUXIAN。


KEJIAN,ZAIRONGLIANGUOCHENGZHONG,SUIYOUSHUILENG,DANGUOBIDEWENDURENGRANJIAOGAO。GENJUSHICEZILIAO,SHUILENGTONGGANGUODEWAIBIZUIGAOWENDU(RONGCHICHU)WEI230~280℃;TUISUANCHUNEIBIZUIGAOWENDUYUEWEI400℃,PINGJUNWENDUYUEWEI150℃。


金福彩票 YOUYUGANGUOJIAOZHANG,ZONGXIANGREPENGZHANGLIANGJIAODA,SHEJISHIBIXUKAOLVDAO。LIRU:2mZHANGDETONGGANGUO,PINGJUNWENDUWEI150℃SHI,QIZONGXIANGREPENGZHANGLIANGΔl=(150 - 20)× 18 × 10-6 ×2000 = 4.68mm。KEJIAN,RUGUOGANGUOSHANGXIAGUDING,ZHEIMEDADEPENGZHANGLIANGSUOCHANSHENGDEJUDANEIYINGLIJIANGSHIGANGUOSUNHUAI。


6直径小于150mm的坩埚往往带有一定锥度,因为坩埚需要脱锭。


大锭在冷凝时由于总收缩量较大,脱锭很容易;但是小锭需坩埚有一定锥度,才便于脱锭,一般锥度在0.5%以内。


7坩埚要进行充分而适当的冷却。


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注意:要便于装卸、清理和维修。

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